二手 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #9003849 待售

KLA/TENCOR 5500 Surfscan是一种自动化晶圆测试和计量设备，工业用于测量晶圆基板的物理完整性。该系统使用先进的光学传感技术在设备表面获取微米级临界尺寸。KLA 5500 Surfscan以非接触且无侵入的方式提供亚微米测量，创建晶圆表面的虚拟图像，可用于评估晶圆表面地形的均匀性。TENCOR 5500 Surfscan非常精确,提供小于5纳米（nm）线性精度和1 nm垂直精度,同时提供4.5 mm最小特征尺寸的有效测量。5500 Surfscan通过将3.5英寸标称全尺寸晶片扫描成数字形式来捕获3 D地形信息。它使用由双镜头光学感应头和CCD线性照相机组成的5500线性成像单元（LIS）进行此操作。随着LIS获取数据，二维图像被转换为三维。然后使用KLA/TENCOR 5500 Surfscan的在线程序员（OTP）或自动缺陷审查机（ADRS）处理、归档和检查数据。轨道程序员（On-Track Programmer，简称OTP）是一个独立的图形用户界面（GUI），使晶圆测量过程自动化。输入OTP的数据包括晶圆大小、零件编号、镜头大小图像数、扫描范围、线速和特征大小。由此，OTP创建了一个数据采集计划，一系列可以完美覆盖晶圆表面的数据扫描。它还创建了晶圆上的缺陷图，以便进一步分析。然后将收集的数据汇编并存储在OTP的数据库中,以便进行连续监测和测量后分析。自动缺陷审阅工具（Automatic Defect Review Tool，ADRS）是一个软件包，允许操作员审阅在轨程序员收集的数据。它利用高级算法和软件工具的组合来比较晶圆的前后图像。如果检测到两个图像之间存在任何差异,ADRS将自动标记区域以进行手动检查。KLA 5500 Surfscan是确保晶片基板质量的强大工具。它提供了一种非接触、非侵入性的方法，快速准确地测量垂直精度高达1 nm的临界晶片尺寸。轨道程序员创建数据采集计划并存储数据以进行进一步分析,而自动缺陷审查资产为缺陷检查提供了一个易于使用的界面。总体而言,TENCOR 5500 Surfscan是一种非常可靠的晶圆测试和计量模型,可提供出色的结果。