二手 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #9213367 待售

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KLA / TENCOR 5500 Surfscan
已售出
ID: 9213367
晶圆大小: 6"
Inspection system, 6".
KLA/TENCOR 5500 Surfscan是一种先进的晶圆检验和计量设备,旨在为半导体晶圆提供可靠和精确的测试结果。该系统利用先进的光学和干涉测量技术提供单个芯片和模具的高分辨率图像,从而能够准确地表征和测量多种特征和缺陷。KLA 5500 Surfscan单元能够高效扫描和测量各种类型的晶圆表面,精度高达10微米。它可以检测和映射粒子和蚀刻坑,以及色调和厚度的变化。它的3-D扫描头使用高频光,因此可以在短时间内轻松识别大面积的粒子。此外,机器还可以检测、计数、测量、分类和监控晶圆表面上电气参数的变化。TENCOR 5500 Surfscan工具还集成了高级软件包,具有自动检查、模式识别、重新格式化、恢复、分析和报告等功能。此软件使用户能够可视化数据并轻松识别晶片中的缺陷。资产还提供可定制的图像和统计分析,用于晶圆变薄、审阅和对齐。5500 Surfscan机型除了拥有先进的硬件和软件外,还具有多项安全功能。其中包括其门上的双锁安全装置、紧急关闭开关和跌落防护装置。此外,设备的腔室设计为无尘,能够无尘测量和分析半导体晶片。KLA/TENCOR 5500 Surfscan是一种先进的半导体晶片测试和计量系统。其先进的光学和干涉测量能力,加上其自动化的软件包,使其能够高精度地一次精确检测、分析和测量粒子、蚀刻坑、色调变化和电气参数。此外,该装置还包括若干安全措施,以确保无灰尘和安全的测试环境。
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