二手 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #9216063 待售

KLA/TENCOR 5500 Surfscan是业界领先的自动化晶圆测试和计量设备。它旨在对半导体晶片进行高精度的光学检查和地形测量。这些工具为在线和离线缺陷检测和屈服分析提供了多直径、高清晰度、可重复的测量功能。KLA 5500 Surfscan具有多传感器系统,可以从单个测试运行中收集各种数据。这包括晶圆的光学图像、阶梯高度和平坦度、轮廓、SEM横截面图像、特征识别和对齐以及迭加等地形测量。TENCOR 5500 Surfscan还使用新颖的浮动光学运动控制来确保晶圆周围的全范围运动以及一个高分辨率的映射单元来捕获整个晶圆上的数据点。该机器还包括缺陷审查功能和自动缺陷检测算法,以快速识别晶圆上的问题特征。它采用自动缺陷跟踪、分析和报告工具来识别与流程相关的缺陷,并支持多种语言,使客户能够以自己的语言与资产进行交互。KLA还提供全系列的检查标准、数据收集硬件和软件以及第三方校准服务，以确保准确的数据收集和分析。5500 Surfscan凭借其强大的设计和提供可靠、可重复测量的能力,已成为业界的热门选择。高分辨率映射模型、捕获各种数据的能力以及自动缺陷审查功能使其成为晶圆计量应用程序的理想解决方桉。KLA/TENCOR 5500 Surfscan凭借其强大的软件、自动化制造和集成的报告功能,为全球半导体制造商提供了全面的晶圆测试解决方桉。