二手 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #9252403 待售

KLA/TENCOR 5500 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备,提供高通量和高精度扫描功能。该系统由两个主要组成部分组成：一个最先进的高速运动级和一个超精确的晶圆平移级。运动级配备了高分辨率线性编码器和微调光学空气轴承，使晶圆的精确表面扫描具有亚纳米级的可重复性和准确性。翻译阶段提供了额外的精度级别，允许对晶片上的缺陷进行高度精确的测量。这两个组件一起能够在晶圆上进行各种测量和测试。最常见的测量类型包括线扫描、区域扫描、点测量和边缘检测扫描。该装置还能够剖析晶片表面的小结构，如小凸点、粒子、微凸点、凹坑和划痕。它还能够执行焦平面线扫描、温度剖析和X射线成像等专门测量。除了提供多种测量类型外，KLA 5500 Surfscan还具有集成软件包，允许用户轻松捕获、分析和存储测量数据。该软件包设计为用户友好,包括一套功能,使用户能够快速准确地执行晶圆测试和计量任务。总体而言，TENCOR 5500 Surfscan是执行高精度晶圆测试和计量任务的优秀机器。它能够执行各种测量和测试,非常适合许多行业和应用。它强大的集成软件包使捕获、分析和存储测量数据变得容易,从而使用户能够快速、准确地执行所需的任务。