二手 KLA / TENCOR 587 #9399578 待售

KLA/TENCOR 587是一种晶圆测试和计量设备，设计用于半导体器件测试和故障诊断。它利用图像采集和图像分析技术来测量各种设备参数，如线宽、整体表面特性、缺陷位置和尺寸以及电气参数。KLA 587非常适合晶片装箱、工艺控制和提高产量等应用。该系统提供了多种图像分析功能,包括粒子测量、临界尺寸测量（CD）、迭加对齐和直线节点以及通过测量。TENCOR 587结合了先进的图像采集和分析技术以及强大的数据管理和报告功能,以提供可靠和准确的结果。该单元可以测量多种特征,包括最小线宽、线节点、vias、异常、模式、缺陷、光阻异常和设备参数。机器还可以处理各种晶圆基板，支持大多数行业标准的晶圆厂工艺，并提供广泛的分析和报告能力。值得注意的功能包括大型高分辨率多级CCD成像工具、用于广域分析的大视场以及高速双通道图像采集资产。587还提供了先进的缺陷分类和分类功能,使其能够检测和捕获单个图像中的多个斑点、凹坑、划痕和其他缺陷。该模型强大的数据收集和管理设备使其能够快速高效地存储和处理大量数据。KLA/TENCOR 587是一款用途广泛、功能强大的系统,旨在满足当今最先进的半导体制造商的需求。KLA 587具有强大的图像采集和分析功能、广泛的数据处理和存储容量以及全面的报告功能,是满足晶圆箱和过程控制需求的理想解决方桉。