二手 KLA / TENCOR 6000 Series Surfscan #9188561 待售

KLA / TENCOR 6000 Series Surfscan
ID: 9188561
晶圆大小: 4"-8"
Non-patterned surface inspection system, 4"-8".
KLA/TENCOR 6000系列Surfscan是一种晶圆测试和计量设备,设计用于在微观层面监控晶圆质量,确保最高生产标准。该系统由四个主要组成部分组成:一个综合计量平台、一套精密测量工具、自动缺陷审查软件和一个综合缺陷数据库。集成计量平台是一个多传感器单元,使用户能够使用光学和电气技术查看、测量和表征单面和双面晶片。精密测量工具允许识别晶圆质量和不同类型电路之间可检测到的缺陷深度的变化。自动缺陷审查软件突出显示晶片上的潜在缺陷及其在单个图像中的位置,从而快速准确地识别当前的潜在问题。最后,综合缺陷数据库记录缺陷随时间推移的测量,使用户能够对数据进行统计分析,进一步了解缺陷的性质。KLA 6000系列Surfscan专为广泛的应用而设计,包括晶圆检查、设备尺寸的确定和表面质量。每台机器都能够测量各种项目,如厚度、尺寸、微观结构和光学特性,允许用户确定各种缺陷类型。此外,该工具还设计了一个用户友好的图形界面,允许用户快速分析晶片,并使用颜色编码表示查看结果。此外,自动化配方方法可确保资产易于设置和使用,同时提供最大效率和准确性。综上所述,TENCOR 6000系列冲浪扫描是一种有效的晶圆测试和计量模型,旨在最大限度地提高生产精度和质量。凭借其全面的全传感器平台、精确的测量工具、自动缺陷审查软件和缺陷数据库,设备为用户确保晶圆生产的最高质量标准提供了便利。
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