二手 KLA / TENCOR 6100 #293827879 待售

KLA/TENCOR 6100是一种晶圆测试和计量系统，用于半导体织物测量和检查重要的器件参数。它使晶片制造商能够以最大的产量提供优质的晶片。KLA 6100使用模与数据库图像关联技术和高分辨率彩色CCD摄像头,并结合了快速、高效和精确的自动对焦功能。通过这种技术组合,可以帮助检测缺陷并更准确地验证过程完整性。TENCOR 6100能够以高达3.75微米的分辨率测量3 D地形数据，分辨率为0.9微米。这样就可以更好地了解晶圆上的斜率、水平和微特征。使用Auto-Focus系统,6100能够检测这些3D地形参数随时间的变化,以确保过程完整性得到维护。KLA/TENCOR 6100还具有一系列内置的计量工具，包括光学和散射测量系统、激光干涉测量系统以及信号/噪声测量。它提供了一系列技术,例如Edge Plunge和Focus/Depth of Field,以确定模具完整性并检查不同的设备参数。它还配备了高级成像工具,如实时基于颜色的缺陷检测（CBDF）和实时临界尺寸和迭加（CDO）工具,从而最大限度地减少了最终图像所需的后处理量。KLA 6100提供高级数据处理功能,允许用户管理多个晶圆映射和参数。通过将目标数据和来自各种测量的实时图像相结合,可以创建设备性能和设备验证的全面报告。TENCOR 6100是晶圆制造商寻求优化工艺和验证器件参数的有效、可靠的解决方桉。由于其广泛的计量、成像和数据分析工具，它确保了晶圆测试和计量的准确性和效率。