二手 KLA / TENCOR 6100 #9226702 待售

KLA/TENCOR 6100是一种晶圆测试和计量设备，为半导体制造提供基于模型的计量服务。该系统使客户能够准确评估集成电路（ICs）和其他设备的特性，使制造商能够测量小至几纳米的单个特性。KLA 6100型号配备了Contour- MPX TM迭加模块,为交叉晶片迭加提供高达3nm的高精度对齐性能。该单元还包括用于精确晶圆测量、设计和对准的Die-AlignerTM扫描机。TENCOR 6100还拥有一个高分辨率的公差测量包,可以检测和测量设备或整个晶圆中的非常小的缺陷。6100可用于高精度分析晶体管和晶圆特性,两个平面扫描均具有100 nm分辨率。它将自动化和基于模型的计量相结合,可帮助您实现可重复和可靠的过程。此外,KLA/TENCOR 6100还配备了Advanced Particle Analysis™包,可用于识别和测量各种材料中的颗粒、污染物和缺陷。该工具还能够分析晶圆形状或地形,提供表面平面度、轮廓粗糙度和均匀度的测量。KLA 6100机型还拥有Advanced Optical Overlay软件包,它使您能够获得更好的控制和精度,用于晶圆模具放置以及高级光学Overlay计量。该资产还非常适合半导体制造过程，它能够检测制造过程中肉眼看不到的缺陷。总体而言，TENCOR 6100车型是寻找可靠、精确计量设备的厂商的绝佳选择。凭借其耐用的硬件和先进的功能,它为客户提供了满足其晶圆测试和计量需求的有效解决方桉。