二手 KLA / TENCOR 6100 #9250107 待售

KLA/TENCOR 6100晶圆测试和计量设备是一种全自动晶圆检验工具，旨在简化晶圆制造工艺，最大限度地提高产量。它由几个组件组成，包括一个自动晶圆壳体站、一个舞台扫描仪系统以及多个自动计量模块。自动晶片外壳站包括一个可以容纳多达66个8英寸晶片的批量装载旋转木马。这样可以确保设备能够顺利高效地工作,而无需技术人员的不断手动出勤。舞台扫描仪是机动化的平台，旨在移动晶片并将其传送到正确的计量模块。它由用于平滑运动的精确燕尾导轨和两个用于快速移动到定义位置的旋转编码器组成。它还可以检测高达10微米的高度差，允许精确测量。计量模块允许快速准确地测量晶圆的临界参数，例如厚度。该工具使用干涉仪以单波长或多波长模式测量厚度。它还使用光谱椭圆偏振法来测量薄膜厚度、表面粗糙度和光学常数。其他功能包括舞台校准和使用数码相机的视觉支持。KLA 6100是设备制造商寻求提高晶圆产量和最大化输出的重要工具。它是一种快速、可靠和准确的资产,可确保以最短的时间和精力实现高质量和高精度。TENCOR 6100具有精确的计量能力和自动晶圆处理功能,非常适合广泛的晶圆处理应用。