二手 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293675905 待售

ID: 293675905
Inspection system.
KLA/TENCOR 6200 Surfscan是一种晶片测试和计量设备,它对半导体晶片上的各种缺陷,从微块和桥接到氧化物坑、颗粒、划痕和晶体缺陷,提供卓越的缺陷检测、审查、定位和分类。KLA 6200 Surfscan建立在先进的CMOS技术平台上,可直接测量电阻率梯度和表面地形。该系统具有自动校准模式识别、高分辨率视频显示缺陷图像直接显示到显微镜操作员的计算机屏幕以及复杂的缺陷检测、审查、定位和分类图像分析功能。TENCOR 6200 Surfscan的综合缺陷审查和计量功能包括从晶圆映射和缺陷定位到缺陷评估和电气测量等一系列技术。这些功能使6200 Surfscan能够以极高的准确性和速度自动检测、查看和查找缺陷。该单元还提供高分辨率晶片映射和缺陷评估信息,使用户能够准确确定缺陷的性质及其对晶片的影响。该机支持任何方向的高分辨率成像或扫描,并包括符合人体工程学设计的取景器和LED背光,以方便用户。KLA/TENCOR 6200 Surfscan先进的光学和精密电子设备使它能够从晶圆表面获得各种各样的电气测量。该工具的低噪声和高动态范围为各种晶圆测试操作提供了快速、准确的电气测量,包括设计验证、器件表征和屈服分析。KLA 6200 Surfscan还能够执行电阻率映射,为用户提供晶圆电气特性的深入视觉表示。TENCOR 6200 Surfscan为晶圆测试和计量提供了最先进的功能。其高精度光学、先进的CMOS技术平台和精密的图像分析功能在缺陷检测、定位、审查和评估方面提供了最大的优势。资产是要求最苛刻的晶圆测试应用程序的最终选择。
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