二手 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293776296 待售

KLA/TENCOR SFS 6200是一种晶圆测试和计量设备，被半导体制造商用来测量硅晶圆上集成电路的选定参数。该系统结合了高度精确的晶圆测试能力和用于高分辨率表面成像的聚焦离子束（FIB）单元以及用于样品制备和分析的电子束。该机器包括一个先进的模式识别环境，用于将模具级数据与晶圆表面上的特征关联。为了进行测试，KLA SFS 6200采用了电气和光学两种方法。电气测试是向设备提供电刺激，然后测量反应并利用其识别缺陷的过程。光学测试使用扫描电子显微镜对晶圆表面成像。通过比较晶片之间的测量,工程师能够检测到诸如边缘轮廓、迭加对齐、临界尺寸线性和屈服等参数的差异。此外,该工具能够识别这些测量中的缺陷和偏差,并向用户发出警报。TENCOR SFS6200的FIB部分包含三个腔室，允许用户进行体积范围、表面成像和特定地点的样品制备。该资产配备了高真空柱、高精度和动态水平控制，以及高分辨率成像，以确保所产生的图像具有尽可能高的质量。FIB室还包含一个几何和应力模块，用于测量样品的局部热膨胀系数和表面分层。SFS 6200的电子束截面允许通过溅射涂层制备样品，并提供高分辨率成像。模型的电子束能够比FIB更深入地渗透到材料中，并允许用户检测样品上的地下缺陷。这样可以更深入地了解正在调查的设备或过程。除了晶圆测试和计量之外，KLA/TENCOR SFS6200还可以用于缺陷审查、故障分析和产品工程。该设备的高通量和坚固的设计使其成为需要及时进行准确测试和结果的半导体制造商的理想选择。