二手 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293777780 待售

KLA/TENCOR SFS 6200是一种晶圆测试和计量设备，旨在提供高级半导体制造中的高端工艺控制和产量管理。它旨在以自信和一致的方式产生结果,从而使工艺工程师能够缩短周期时间、改进直通式,并提高质量和产量。KLA SFS 6200系统采用高效可靠的激光校准技术,可提高精度和精度。它能够进行自动化、经济高效的晶圆测试和晶圆计量。它具有广泛的检查和计量能力，包括正面成像、先进的光束和电子束检查、FIB/SEM计量和带电粒子成像。TENCOR SFS6200单元能够对不同类型的半导体器件进行沉积、表征和器件测量，如逻辑、内存、数据转换器和功率转换。此外,它的内置自动化和可自定义脚本功能使您能够创建自定义流程流,以便快速准确地测量晶圆属性。SFS6200机器还提供实时深度测量和详细的应力计量，用于成像各种类型的晶圆。其先进的3D RTCM技术可以精确测量半导体层，并以正负0.5埃的精度快速确定晶圆厚度。为了进一步提高产量和质量,KLA SFS6200工具具有自动化的流程监控和报告功能,使流程工程师能够实时跟踪和优化流程参数。它可以记录和存储整个测试过程，允许快速的比较和分析。总之，TENCOR SFS 6200是一种功能强大、可靠的晶圆测试和计量资产，能够提供快速、准确的结果，并具有最优的产量和质量。其先进的激光校准和自动化的过程监测和报告功能使过程工程师能够维持高端过程控制，并进行细致的晶圆测试和计量。