二手 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293804327 待售

KLA/TENCOR SFS 6200是一种先进的晶圆测试和计量系统。KLA SFS 6200具有高精度的视觉系统和先进的成像能力,可以从单个晶圆中精确测量和分析晶圆材料、厚度、表面特性和其他属性。TENCOR SFS6200专为高速吞吐量而设计,每小时最多可提供25个晶圆,而操作员的干预最少。它还具有许多自动化友好功能,例如样品的自动装卸和集成测试助手,以便于配置。此外,它的高级工具识别功能最大程度地减少了错位,并最大限度地提高了准确性。TENCOR SFS 6200的影像系统提供高分辨率和极低的影像失真,提供精确的影像和详细的资料。它还具有先进的光学显微镜模块，可以自动调整照明水平、放大倍率和样品聚焦，以获得清晰的图像。此外，其计量模块还提供精确的光学计量数据，包括横截面形态、临界尺寸和迭加（CD）测量。SFS6200可用于各种探针，包括全自动探针和手动探针。它还具有缺陷检测功能,使其能够检测各种常见和困难的缺陷。此外,其软件还具有广泛的用户友好功能,如功能齐全的报告生成和存储、测试结果的可追踪性以及对样本参数的精确控制。KLA SFS6200是需要精确、自动化晶圆测试和计量能力的半导体制造商的绝佳解决方桉。它易于使用、精度高,并且为典型的生产应用程序提供了快速高效的吞吐量。KLA/TENCOR SFS6200具有先进的功能和用户友好的功能,是任何晶圆测试和计量的理想选择。