二手 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293808873 待售

ID: 293808873
晶圆大小: 8"
Inspection system, 8" Hard Disk Drive (HDD).
KLA/TENCOR SFS 6200是一种晶圆测试和计量设备,提供各类半导体晶圆的直列式和直通式自动检验和计量测量。它具有强大、功能齐全的高级映像功能和高吞吐量。该系统所采用的创新技术允许对晶片进行快速、精确、可靠的测试、验证和分析。KLA SFS 6200附带了一套全面的自动化图像采集、晶圆扫描和检查工具。它有能力结合多种成像技术和算法来搜索晶圆中的各种缺陷。该设备具有自动缺陷过滤功能,能够检测细微缺陷并对缺陷进行分类。它还提供了一个精确和强大的3D扫描头精确定位和缺陷的确定。该机器利用高质量的高速CCD摄像机,以高达1.3 μ m的分辨率获取亮场和暗场图像。工具中嵌入的高级图像分析算法可以提供卓越的图像处理、缺陷分类和精确的边缘检测能力。此外,该资产还能够进行无损检测,如薄膜计量,使其适合晶圆变薄和回磨过程。TENCOR SFS6200由先进的视觉模型提供动力,该模型可以捕获、分析和显示精确缺陷表征所需的高分辨率3D图像和模式。这款先进的视觉设备采用实时成像技术,减少误报,缩短验证周期时间。该系统还具有强大的光源、边缘对准和晶圆跟踪传感器,以实现精确的晶圆边缘和缺陷检测。TENCOR SFS 6200还提供了高级报告功能,使用户可以快速、轻松地获得晶圆测试结果。它包括用于定制检查算法和创建符合所有质量保证要求的自定义报告的复杂工具。此外,该装置也非常可靠,在生产中有17年以上的实证性能。总体而言,KLA SFS6200是一种先进的自动化机器,用于晶圆测试、检验和计量。它提供了高级成像功能、自动缺陷过滤功能和无损检测功能,使用户能够快速准确地检测晶片中的缺陷。此外,该工具可靠且可定制,为用户提供详细的报告功能。
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