二手 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293822311 待售

KLA/TENCOR SFS 6200晶圆测试和计量设备是一种前沿的高速设备解决方桉,旨在实现可靠的过程控制和设备优化。该系统将先进的光学计量技术与机器人、数据驱动的自动化相结合，以实现高通量、晶圆特性和设备结构的快速测量。通过自动实施关键测量,KLA SFS 6200单元缩短了周期时间并提高了晶圆吞吐量。该机配备了多个传感器，包括精确校准的光学成像、光学聚焦和光谱分析仪，以及基于探针的电气检测系统。这些先进的计量技术能够实现非接触式光学成像和测量设备特性，如光刻和闸门，以及热和电特性。工具的核心是机械臂。这一功能加上先进的计算机控制分配器，可实现高通量晶片加载和检查。运动控制器用于根据需要在每个晶片位置精确定位和聚焦光学器件和探测器。光学器件相对于晶片的最佳对齐方式可确保对所有晶片进行精确、可重复的测量。该资产还包括允许用户设置配方和自定义测量参数的软件,并能够存储结果以供将来使用。为了确保精确和精确的测量,TENCOR SFS6200模型配备了精密级技术,包括可选的PiezoZ扫描仪。这确保了测量过程中探测器的精确和可重复定位。此外,它还具有一个集成的流程界面,允许用户使用遥控器操作设备。该系统旨在通过实时可见性优化传入晶圆测量的产量,提供晶圆几何、计量结果和工艺体系参数的完整视图。此外,该单元还具有一个可简化数据收集、分析和审阅的直观用户界面。总之，KLA SFS6200晶片测试和计量机是一种先进的设备解决方桉，为用户提供先进的计量技术、精确的阶段控制和高通量自动化。该工具具有多种传感器、先进的计算机控制分配器和直观的用户界面，为过程控制和优化提供了可靠和可重复的晶圆测量。