二手 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293831075 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备,能够以无与伦比的准确性、速度和性能进行高级计量和缺陷审查。它是业界最精确准确的系统。KLA 6200 Surfscan利用超高分辨率带电耦合器件相机和专用的定制设计的光束柱光学模块,实现了前所未有的晶圆检测、缺陷检测和表征,以及测量精度和一致性。该设备还配备了极快的扫描仪，速度高达10 µm/s或更高。它还可以容纳直径可达12英寸的晶片。TENCOR 6200 Surfscan将光学计量、缺陷评审、计量稳定性分析与前所未有的精度、精度稳定性、可重复性独树一帜。这台高度先进的机器能够测量平面和图桉化表面的各种特征关键尺寸,包括线宽、空间宽度、垫板和直径,以及线缘粗糙度。它还具有强大的缺陷和粒子分析成像能力，以及用于缺陷表征和分类的高级软件。PROMETRIX 6200 Surfscan的高级算法支持多项关键功能,包括3 D光学粗糙度测量、粒子分析（表面污染物）和严格的在线检查要求。该工具还提供了广泛的测试测量,如条带和光栅测量、3 D线轮廓测量和阵列晶圆分析,以及基本和高级缺陷审查。总体而言,6200 Surfscan是需要精确晶圆测试和计量的制造商的绝佳选择。其强大的扫描功能、成像功能和高级算法增强了各种测量和缺陷审查的能力,使其成为各种应用程序的理想资产。