二手 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293831268 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一款晶圆测试和计量设备，专门设计用于各种先进半导体应用的质量控制。它将2D和3D计量学功能（如反射率、光学计量学和电光计量学）与自动化软件和校准程序相结合,以便能够在一系列半导体晶片上进行高速、可靠和准确的测量。6200的独特设计允许使用单个对齐通行证详细测量整个晶圆上的点（包括某些应用程序的后侧）,从而帮助减少了快速向客户和利益相关者测试和证明结果所需的总时间。6200强大的车载光学，包括LED图样投影仪、自动对焦和高分辨率CCD相机，结合先进的光学和软件，可以准确识别和跟踪特征，允许在整个晶片表面反复测量特征。此外,还可以创建自定义对齐掩码,并将其用于测量晶片上的特定特征,以减少时间并提高测量精度。6200还具有一系列晶圆测试和计量功能,包括表面反射率测量、顶部/底部光电计量和迭加计量。对于反射率，6200的LED光源用于测量整个晶片表面或特定位置的反射率，以帮助检测各种类型的缺陷，如植入物、位错和断裂。6200的光电计量能力用于测量顶部表面电导率、模具电压等应用，包括芯片对芯片的模具电压变化。该系统还允许特征迭加计算,这些计算使用6200的高级阵列投影功能来检查特征精度和方向与设计之间的关系。6200还提供了复杂的数据收集选项,并且能够存储多达800万个缺陷图像,以随时间推移监控晶圆产量。数据是以实时和后期处理方式收集的，可以同时进行测试和检查。这允许用户快速识别、记录、存储和分析晶圆上发现的大量缺陷。6200还可以导出各种格式的数据，以便在必要时进一步分析和报告。总体而言,KLA 6200 Surfscan设备是一台功能强大、可靠且用户友好的晶圆测试和计量机器,旨在快速识别和测量各种晶圆特征和缺陷。6200结合了先进的光学、软件和自动校准功能,使用户能够快速准确地收集、分析和报告各种半导体材料中的数据。