二手 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #9303158 待售
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ID: 9303158
晶圆大小: 4"-8"
优质的: 1995
Non-pattern surface inspection system, 4"-8"
PSL Calibration
Defect sensitivity: 0.1 Micron (PSL STD)
Haze sensitivity: 0.02 PPM
Haze resolution: 0.002 PPM
Accuracy within 1%
XY Coordinates
Lock down accessories
Blower assembly
Ar-Laser: 30mW
Power supply: 208V, 60Hz, 17A
1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一种精密的晶圆测试和计量设备,专为各种研究和生产应用而设计。它提供了无与伦比的精度和可重复的结果,使用户能够以无与伦比的精度测量晶圆表面上特征的大小、形状和深度。该系统采用创新的双束激光干涉仪,提供纳米级分辨率的电光测量。它能够测量矿坑、颠簸、划痕、腐蚀、台阶、毛刺等纳米级细节方面的不规则性。该单元提供自动通过/失败评估功能,可在毫秒内确定晶片曲面上特征的深度、大小和形状,从而实现高效的工作流和节省时间的结果。KLA 6200 Surfscan专为高速操作而设计,能够在几秒钟内进行全晶圆扫描。它配备了广泛的硬件和软件工具,这些工具旨在使用户能够快速分析其数据。该机器包括主机PC、基于VME的控制器板和Surfscan 5200温控晶圆检测室。它还包括高级成像和分析算法,旨在以最少的手动输入提供准确的结果。TENCOR 6200 Surfscan还具有自动扫描功能,可快速扫描大区域。它还提供了广泛的图像和数据分析功能,方便用户实时查看和分析信息。该工具与许多行业标准CAD系统和计量软件包兼容,这些软件包允许将数据和结果轻松集成到现有产品和服务中。PROMETRIX 6200 Surfscan被誉为当今市场上领先的晶圆测试和计量系统之一。它结合了速度、准确性和可重复性,使其成为各种研究和生产应用的理想资产。凭借其先进的硬件和软件功能,它能够以最少的手动输入提供精确可靠的结果。这使得6200 Surfscan成为晶圆检查的首要选择。
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