二手 KLA / TENCOR 6200 #293610590 待售

KLA/TENCOR 6200是为半导体工业设计的先进晶圆测试和计量设备。它提供自动化的临界尺寸测量和光学检查,具有无与伦比的准确性和可重复性.KLA 6200利用先进的光学技术，包括配备全自动XYZ线性驱动器的高精度干涉显微镜。此驱动器可精确测量坐标、特征高度、迭加和关键尺寸。该系统还包括高功率激光光源和高分辨率垂直和横向扫描。这种特性的组合允许对半导体结构进行极精确的测量和定量分析。TENCOR 6200还配备了提供自动缺陷检测和分类的高级智能包。这项功能强大的技术可以准确识别不对称、几何不规则、高度过高等常见缺陷的实例。6200还具有一套晶圆测试功能。它提供了一系列的自动化测试方法，包括在线4点探针、CDC（依赖芯片的表征）和SOT（测试扫描）。该设备提供快速、准确的设备特性测量,具有最高的可重复性和灵敏度。此外，KLA/TENCOR 6200提供增强的晶圆检测能力。它提供了半导体缺陷的自动表征，包括具有缺陷分类的模具缺陷审查、微观缺陷检测、模式配准分析和自动平场聚焦。总之，KLA 6200是一种先进的半导体计量和晶圆测试机器。它提供了增强的光学技术和自动化智能功能,包括精确测量、自动缺陷识别以及一系列晶圆测试功能。该工具为半导体制造商提供了可靠、经济高效的质量保证和工艺控制解决方桉。