二手 KLA / TENCOR 6200 #64476 待售

KLA/TENCOR 6200是一种晶圆测试和计量设备，旨在提供快速的过程监控和快速的数据分析。KLA 6200是一个自动化系统,能够测量晶片的表面和厚度特性、处理大量数据、识别异常以及对多个样本进行分类和跟踪。该单元有一个晶圆支持平台，即盒式磁带和装载机，其中晶圆被装卸。TENCOR 6200配备了包括白光干涉仪（SLIM）、散射法、光学反射法、散射光度法和3D表面剖面仪在内的多种计量工具。SLIM通过大气加压来降低晶圆表面大气污染的风险。此外，6200可以同时执行非接触和接触计量。对于数据分析和状态监控，KLA/TENCOR 6200与KLA IntelliWafers软件集成。IntelliWafers是一套集成软件应用程序,旨在准备、分析和报告晶圆检测数据。它提供了一整套功能，包括对工艺晶片进行自动统计分析的能力，以及实时的工艺监控。IntelliWafers可以生成报告和数据图,从而深入了解关键流程指标以及流程变化和异常的趋势。吞吐量方面，KLA 6200每小时最多可测试300件。它还可以很容易地集成到各种其他系统中,包括在线和离线系统。此外，它可以配置为满足各种应用的需求，包括测试高长宽比晶片。综上所述，TENCOR 6200是一款高效的晶圆测试计量机，能够提供快速的过程监控、快速的数据分析和全面的报告。其广泛的特性使其适合各种应用，高速吞吐量使其能够快速处理大量数据。最后,该工具与IntelliWafers软件集成,可确保自动统计分析、实时过程监控和全面数据分析。