二手 KLA / TENCOR 6210 Surfscan #9412434 待售

KLA/TENCOR 6210 Surfscan机是一种用于半导体工业的高端晶圆测试和计量设备。该系统允许精确测量晶片上的关键工艺细节，如微米范围内的曲面均匀性和几何参数。即使在设备制造的早期阶段，它也能够获得关于这些参数的准确数据，以确保工艺速度和保真度。KLA 6210 Surfscan使用基于高分辨率三角测量的光学计量技术,以极高的精度测量跨晶圆和模内性能。该设备专为非接触、高吞吐量、可重复和可靠的操作而设计。由于机器的横向扫描能力以及高保真相机、光学和照明系统，确保了机器产生的读数的准确性。此外，机器提供了灵活性，可以在没有用户干预的情况下轻松执行各种计量测量。为了保证最高精度的测量，TENCOR 6210 Surfscan采用激光干涉测量工具设计。这项资产能够测量晶圆表面小到0.1纳米的非常小的变化。扫描速度也是可调的，可以在0.25到7毫米/秒之间变化，同时保持极好的精度。这使得测量快速移动的晶圆表面更加方便。该模型收集的数据用于各种半导体工艺的表征和优化以及自动缺陷分类。设备的读数还可以进行故障分析,这有助于改善工艺流程并降低成本。6210 Surfscan还设计为便于连接,允许与其他系统集成,以便于处理数据。机器还具有用户友好的软件界面，提供直观的工作流程。总之，KLA/TENCOR 6210 Surfscan晶片测试和计量系统是一个强大的工具，即使在设备制造的早期阶段，也能准确可靠地测量晶片表面。该机器还包括一个激光干涉测量单元，可以精确测量晶圆表面的很小的变化。此外,易于连接和用户友好的软件界面使您能够轻松与其他系统集成并利用收集到的数据。