二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #139951 待售
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已售出
ID: 139951
晶圆大小: 4" - 8"
优质的: 1996
Inspection system, 4" - 8"
Specifications:
Sensitivity:
0.09 ㎛ at > 80% Capture rate
( latex spheres on bare silicon )
Throughput: 100 wph ( 200mm wafers ) at 0.12㎛
Repeatability: Within 0.5% δ ( Mean count >500, 0.364㎛ diameter latex spheres
Illumination:
Source: 30mW Argon-Ion Laser, 488nm
Sample Sizes : 100mm to 200mm ( smaller sizes upon request ) round or square samples
Configuration:
Wafer Size: 100mm ~ 200 mm
Power: 208V, 17A, 1Phase,60Hz
Main Frame:
CRT Monitor
Keypad
Mouse
FDD
Cassette plate
System Controller Card Cadge
. Slot 1 Video Card
. Slot 2 N/A
. Slot 3 CPU Board
. Slot 4 Timing Generator Board
. Slot 5 Haze Separator Board
. Slot 6 Particle Area Processor Board
. Slot 7 N/A
. Slot 8 GPIO Board
. Slot 9 Motor Controller Board
. Slot 10 SECS Board
. Slot 11 Ethernet Card
. Slot 12 N/A
. Slot 13 N/A
HDD ( -2-EA )
Laser Power Supply
Uniphase Laser ( 2214-30SLT )
Mainn Cucirt Breaker
Cassette Plate
Currently stored in a warehouse
1996 vintage.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一种自动化晶片测试和计量设备，旨在实现半导体晶片的更快、更可靠的处理。具有测量大范围晶片参数的能力，包括表面和地下膜厚度、平整度、表面纹理、峰谷、表面反射率和存在缺陷。该系统能够利用三维、低强度的光感应头每小时测量多达20个晶圆。KLA 6220 Surfscan单元采用耐用、耐腐蚀的外壳,设计用于可靠地处理最具挑战性的测量。机器的结构是模块化的，提供了根据用户需要配置的灵活性。它还具有高级硬件和软件组件,以确保高精度测量。该工具通过短间距干涉的光学原理运行，其中激光光束的真空产生的干涉探测晶圆的地下层，然后反射回光电探测器进行分析。这不仅测量表面和地下薄膜厚度，精度高达5 nm，而且还检查缺陷，包括晶片表面以下的缺陷。资产的图形用户界面（GUI）是直观的,它为用户提供了实时测量的一系列指标。然后可以将这些信息用作反馈,以便对晶圆制造过程的参数设置和性能做出明智的决策。TENCOR 6220 Surfscan是一种自动化、健壮的晶圆测试和计量模型,适用于一系列生产环境。它旨在通过同时提供更快、更可靠、更准确的多个晶片测试来减少工艺时间并提高产品质量。因此,对于那些寻求高效、可靠和经济高效的晶圆测试解决方桉的人来说,它是一个理想的解决方桉。
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