二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #158592 待售

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ID: 158592
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Non-patterned wafer inspection system, 8" Can accommodate wafers from diameter, 2"-8" Sensitivity-particle: 117 Micro-meter diameter Latex spheres with >90% capture rate Haze: 1 ppm Minimum Cassette to cassette handling Defect sensitivity: 0.09 um dia PSL Sphere equivalent with greater than 80% capture rate Haze: Sensitivity: 0.02 ppm Minimum Resolution: 0.002 ppm Repeatability: Count repeatability error less than 0.5 percent at 1 standard deviation Throughput: 100 WPH (200 mm) at 0.12 um Contamination: Less than 0.005 particles/cm² greater than 0.15 mm dia per single pass Illumination source: 30mW Cassette handling: Single puck wafer handling from two cassettes (One sender / Receiver, one receiver) Electrical requirements: 200-240V, 50/60 Hz, 2 kVA 1996 vintage.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一款下一代晶圆测试和计量设备,旨在支持半导体行业对精确、可靠、可重复计量的日益增长的需求。KLA 6220 Surfscan的圆滑设计允许大规模的晶圆处理和高水平的吞吐量,而减少零件、组件和服务的数量则需要支持削减成本和提高效率的最终目标。TENCOR 6220 Surfscan搭载双轴光学系统和超精密运动舞台,提供高度空间分辨率的晶圆表面动态实时成像。该单元包括一个直观、可自定义的触摸用户界面,以及一个完整的自动分析算法库,以确保测量结果准确且可重复。为适应各种要求,6220 Surfscan可以以高精度和精确度处理各种测试、计量和成像任务。计量机可以通过一次扫描来测量多层或不同的材料,以及使用高级傅立叶变换剖面图(FT-PROF)在晶圆表面上收集3D信息。此外,KLA/TENCOR 6220 Surfscan还配备了集成校准工具,以及一套全面的计量工具,能够对晶圆上几乎所有表面进行高度精确的全面表征和分析。KLA 6220 Surfscan旨在提供必要的性能来表征和测量复杂曲面、半导体器件和其他微电子元件。资产包括晶片加载模块,以及高精度运动阶段,允许晶片表面的精确和可重复扫描。该软件包提供高级图像采集、图像处理和分析功能,同时支持各种应用程序,如组件和设备特性、故障分析以及特征分辨率。该模型能够在一次扫描中精确测量多层或不同材料,并执行高级成像任务(如特征识别和分析),以减少耗时的手动检查并最大化生产率。综上所述,TENCOR 6220 Surfscan是一款功能强大且用途广泛的晶圆测试和计量设备,它提供卓越的性能,能够在一次扫描中准确可靠地测量微电子元件和表面的特征。6220 Surfscan直观的用户界面和精确的运动阶段提供了高水平的吞吐量和灵活性,而高级成像和分析功能确保了可靠、可重复和准确的结果。
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