二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #188564 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan Wafer Testing and Metrology设备是一种高度先进和精密的工具，专门设计用于测量和检查晶片和其他设备的地形。它使用干涉测量法以极高的精度和精确度来测量表面的高度。它可用于各种应用，包括半导体器件和晶片上表面的表征、新材料的勘探以及制造工艺的指令验证和比较。KLA 6220 Surfscan系统能够以极高的精度和精确度测量极小的特性。它使用倾斜校正干涉仪和数字自动对准器来创建扫描表面的干涉图样，然后用来精确测量精确的高度。它有四种倾斜补偿测量配置，以解释样品表面地形的变化。该装置具备高速扫描能力，每秒可取样12,000个横截面数据点，这对于确保清晰准确的测量结果至关重要。这台机器还可用于分析不同类型的特征和表面，如导电膜、涂层、磨损特征、磨损表面轮廓和厚度变化。此外，该工具能够测量；10nm以下的特征尺寸、螺距运动、非接触测量以及对温度、振动和气压的环境免疫力。它还具有一个自动对焦向导,它可以自动调整任何给定表面的资产焦点,甚至可以检测样品表面上是否存在污染物。TENCOR 6220 Surfscan还具有易于使用的图形用户界面,可帮助浏览模型并允许用户根据自己的特定需求自定义测量结果。作为额外的奖励，这款设备内置了热力管理系统，可主动监控内部温度并优化机组性能。这一点很重要，因为它能确保机器产生精确可靠的结果。总体而言,6220 Surfscan是一种功能强大且复杂的晶圆测试和计量工具,非常适合需要对高度详细的物理表面轮廓进行可靠和准确测量的应用。从检查和分析晶片表面到精确测量磨损特征和薄膜,此资产能够轻松执行各种复杂和详细的测量。