二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #293602408 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是最先进的晶圆测试和计量设备。它设计用于缺陷审查、光刻/蚀刻监测、薄膜测量和迭加检查等广泛的应用。该系统配备了最新的运动和成像系统，使其能够达到高精度和准确度。KLA 6220 Surfscan具有高速6轴扫描平台，是用于超精确晶片级运动的四级DSP控制。它的高速扫描和广泛的运动能力提供了卓越的高度可重复扫描，允许更好的产量验证。该单元包含KLA高级成像功能,包括选择高分辨率彩色相机,每台相机都有自己的视场。该机器能够以0.25微米的CD精度检测高达6 ″ 10毫升的二极管，并能检测到缺陷大小和形状异常，低至2微米。该工具还支持高分辨率激光束偏转和扫描线轮廓分析,分辨率达到惊人μ 20米。该资产集成了主动区域扫描（AAS）以显示高分辨率收益数据、双阵列和3D缺陷信息,并具有自动光学检查（AOI）的扩展功能。它还包括前沿衍射（Leading Edge Diffraction）、化学识别和成像、无成像化学识别（CIWI）以及关键CD和3D条形结构关键特征的计量功能。TENCOR 6220 Surfscan型号是模块化的,用户可以配置,以实现灵活性和改进流程一致性。它具有多种适应性强的硬件和软件选项,如平板显示器、自动环境控制、SPC开放式体系结构、定制解决方桉和数据分析解决方桉。6220 Surfscan旨在帮助改进过程控制,并检查各种半导体尺寸、缺陷级别和过程参数。保持芯片质量和延长设备生命周期是一种可靠、经济高效的方法。