二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9003557 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是最新版本的晶圆测试和计量设备，设计用于检查半导体晶圆的表面。该系统使用快速、高分辨率的成像和测量单元检测缺陷，确保均匀性，并测量关键特征参数。该机器采用了现有的计量设备，增加了一些功能，以提高可靠性和降低成本，同时保持高精度。该成像工具利用三维（3D）成像的最新进展，以亮场和暗场模式捕捉晶圆表面的快速、详细图像。它还使用精确的测量来识别缺陷，公差优于一纳米。该资产还提供自动校准和对准，以确保晶圆在测量表面特征时保持对齐和稳定。它还提供了一系列可调参数，允许用户针对各种应用优化成像和测量功能。该模型还提供复杂的软件和交互式功能,使用户能够自定义测试过程。控制程序允许用户预设曝光时间、光学滤镜和focusMode，以获得理想的测量结果。用户还可以对图像进行分析，以识别特定的缺陷，如划痕、投球和打滑缝线。此外,Surfscan 6220还包括一个用于手动非接触式分析的特殊软件模块,该模块可自动处理可视或电子表格格式的结果。模块还包括一个高密度缺陷映射功能，它允许用户快速识别晶圆上的缺陷特征并确定其大小。KLA 6220 Surfscan采用最新技术进行设计,以确保晶圆制造过程产生精确、可靠的结果。其先进的成像和测量功能、交互式功能以及精密的软件使其在竞争中处于领先地位。