二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9052288 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一种自动化的非接触式光学工具，用于晶圆测试和计量。该设备将其前身6200 Surfscan采用的经过验证的光学技术与先进的图像处理算法相结合，以提供对表面地形的高精度测量。这包括测量曲面轮廓参数,如曲面粗糙度、步长和间隙高度以及锥角。KLA 6220 Surfscan配备激光剖面仪、四轴电动晶片级和自动显微镜，由CCD相机供电。当系统用于临界尺寸计量时，剖面仪用激光扫描晶片表面以测量其轮廓。显微镜和电动级穿过晶片以捕捉晶片的3D形状。然后使用这些数据来测量设备的临界尺寸并识别其表面的任何粒子或地形缺陷。TENCOR 6220 Surfscan具有许多功能,使其成为晶圆测试和计量的宝贵工具。它有一个自动化的过程，可以同时进行大型晶圆和设备分析。它有一个强大的图像处理单元，它具有可为不同类型的检查作业定制的工作流。该机还具有漂移扫描算法，该算法可自动补偿可能影响测量精度的振动和温度变化。该工具可用于各种晶圆测试和计量应用，如缺陷检测和分析、晶圆临界尺寸（WCD）测量和晶圆地形测量。6220 Surfscan资产可以在各种晶圆和晶圆材料上检测到大小从几纳米到几微米不等的粒子。它非常适合测量MEMS和其他纳米电子器件的临界尺寸。KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一种功能强大、用途广泛的晶圆测试和计量模型。它结合了高精度光学测量技术、先进的图像处理算法和自动化过程，使其成为各种晶圆测试和计量应用的理想工具。它能够精确测量各种晶片和材料类型上的表面轮廓参数和检测颗粒缺陷，是制造纳米电子器件不可或缺的工具。