二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9084445 待售
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KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一种功能强大、精密的晶圆测试和计量设备,用于半导体器件的制造。它能够提供全方位的数据丰富的成像、检查和计量功能。KLA 6220 Surfscan提供了光学、电气和声学检查功能的多功能组合。它在生产的各个阶段都支持各种各样的样品类型,从原型到生产到后期测试。TENCOR 6220 Surfscan系统设计用于端到端过程控制、通过故障检测防止产量损失以及质量优化。它具有高灵敏度、精确定位和各种探测功能。集成的成像功能允许在晶圆级进行完整的可视数据收集和对各种材料的准确识别。该单元能够检查薄至25 nm的层,并提供驱动过程控制的重要数据。6220 Surfscan配备了用于扫描和计量的高精度硬件。它使用了一套针对低角度光检测优化的自动化工具,以及用于高角度图像处理的光学显微镜。此外,该机还能够利用声学显微镜分析微量和纳米级的材料和缺陷。该工具具有超高速扫描和晶圆识别功能,可实现自动吞吐量,并具有广泛的数据分析和报告功能。KLA/TENCOR 6220 Surfscan还提供了一套全面的手动和自动化测试功能,具有高度可重复的测量和纠错方桉功能。其灵活的体系结构允许添加自定义选项以满足特定的站点和流程要求。KLA 6220 Surfscan旨在满足广泛的应用和环境要求,可以集成到制造环境中,也可以单独操作用于晶圆和零件的分类。专门为微电子及相关行业提供准确可靠的检测结果和工艺优化。该资产支持48英寸晶圆大小(最多8英寸),并且配置为满足特定于客户的流程的需求,并有多种选项可供选择。此外,该模型还得到世界级技术支持和支持服务的支持。
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