二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9110913 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是半导体制造工业中使用的一种最先进的晶圆测试和计量设备。6220使用高分辨率光学显微镜和干涉测量技术来检测、分析和评估半导体晶片表面的缺陷。它是Surfscan系列中的最新产品,提供最先进的缺陷检测和分类功能,使其成为过程优化和质量控制的理想工具。6220采用高度灵敏、精密的光学显微镜，允许对晶圆上的表面特征进行高分辨率成像。此外,还采用波长扫描干涉测量（WSI）来测量表面高度和梯度。集成系统采用多模计量，提供同步WSI、矢量扫描干涉测量（VSI）和图像减法分析。WSI检测到最微妙的表面地形特征,而VSI对地形执行更详细的3D测量。最后，图像减法评估晶片上的不同层，比较每层沉积后的两个晶片。6220的高级软件使用户能够准确定位和识别随机分布的缺陷，评估每个晶片的表面粗糙度，并根据行业标准配置文件对缺陷进行分类。它还支持自动执行检测和分类过程的功能。该单元能够提供从0.2nm到20nm的各种测量分辨率,从而提供极其精确的分析结果。此外,紧凑的模块化KLA 6220还具有直接扫描和成像功能,可实现广泛的非接触式探针配置和测量。其自动双级晶片平移机保证了精确的定位和舞台控制，具有很高的可重复性。该工具还提供了更大的动态范围、更长的电池寿命、更大的晶圆容量以及改进的热管理资产,从而实现了更好的性能和准确性。总而言之,KLA 6220 Surfscan是高级流程优化和质量控制的理想工具。它提供了高级缺陷检测和分类功能,支持广泛的测量分辨率,提供精确、准确的结果。加上其紧凑的设计、模块化和较长的电池寿命，Surfscan 6220是半导体器件生产和研究的理想选择。