二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9115142 待售
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ID: 9115142
晶圆大小: 4"-8"
Unpatterned surface inspection system, 4"-8"
SMIF
Substrates: 4"-8"
Automatic wafer handler
Sensitivity most surfaces: 0.20µm @ 95%
Polished surfaces: 0.10µm @ 95%
Capture rate: 0.12µm Defect sensitivity on bare silicon
Repeatability: < 1.0%
Standard deviation
Contamination:
Less than 0.005 particles
Greater than 0.15µm
Includes:
SP1/TBI: 4 Station, single open cassette, DFIMS
SP1/DLS: 4 Station, single open cassette, DFIMS
SP2 and SP2/XP: DFIM, 12"
Haze sensitivity: 0.02 ppm
Defect map and histogram with zoom
Illumination source: 30 mW
Argon-Ion laser
Wavelength: 488 nm
2D Signal integration
Spatial resolution: 50µm
Non-contaminating robotic handler
Random access sender / receiver unit.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，设计用于半导体制造过程中的质量保证。凭借其先进的技术,Surfscan提供了确保过程控制和产品质量的功能。高效的Surfscan系统支持快速无损测试,实时显示结果以确保更好的过程控制。该设备具有可配置的集成电子束测量功能,可提供高精度形状和关键尺寸测量,使用户能够验证过程控制。Surfscan具有直观的图形用户界面,使用户能够快速轻松地设置测试作业并将其存储以备将来使用。图形机器高度可定制,确保用户最大程度地适应其独特的流程。Surfscan还提供高吞吐量性能,其高性能晶片到晶片吞吐量减少了手动加载的需要。该工具可以处理直径达八英寸、厚度达两微米的晶片，也兼容KLA专利的超平滑检测技术。此外,该资产还具有高级统计过程控制功能,允许用户在出现重大过程问题之前分析关键过程变量并检测潜在的失控情况。KLA 6220 Surfscan是一款功能强大且可靠的机型,提供高精度、出色的灵活性和易用性。它具有可靠可靠的产品特性，是半导体制造工艺质量保证的理想解决方桉。
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