二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9137178 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，用于无损缺陷检测和表征表面地形。它专为300毫米晶圆而设计，可以并行检查多个晶圆。该系统能够测量极低和极高的表面高度。它快速、可靠、准确,非常适合质量保证和过程开发应用。该单元的核心是KLA专有的BIB（Burst Illumination Brightfield）技术。当需要有用的数据时,它使用一组微小的LED来发出穿透样品晶片的光脉冲。然后可以在晶片表面上的每个点精确测量散射强度。其结果是一个令人难以置信的分辨率水平，比以前的检查系统大几倍。6220机配备了众多其他功能以增强功能性。它有两个数码相机，提供扫描晶片的视觉图像。它还具有双轴晶片级，可以精确定位晶片在多达九个不同的方向进行复杂的测量。各种测量的许多类型的自动化例程都可以在工具中编程和执行。为了实现快速晶片对晶片和模具对晶片的比较，资产支持几种图像分析算法，如BIS映射、粒子密度测量和子像素缺陷分类。这些图像分析算法能够在单个测量中自动测量或比较来自多个模具位置的数据。总体而言，KLA 6220 Surfscan是一种可靠而强大的晶圆测试和计量模型，适用于各种晶圆加工和计量应用，如产量和工艺增强。它具有多种先进的特点，是半导体工业质量保证和工艺发展的重要工具。