二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9149402 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，设计用于提供半导体晶圆的高分辨率表面分析。该系统的尺寸范围可达200毫米，是测试、表征和了解半导体晶片结构的通用工具。KLA 6220 Surfscan的核心是一台先进的自动荧光显微镜，为半导体晶圆的表面地形视图提供高分辨率光学成像。它能够测量低于微米级的特征，分辨率优于1um。此外，该设备还配备了二维正交扫描机，有助于精确测量和表征表面特征和计量。6220由光学和控制器两个主要组件组成。光学元件是允许个人捕获晶圆图像的主要组件。它包括表层荧光显微镜、物镜、透镜、分束镜、样品聚焦台、荧光滤光片等成分。光学器件能够测量和分析从低于1微米水平到大于10微米水平的特征。控制器是控制显微镜功能的工具的次要组件。它包括用于分析和表征晶圆特性的软件，以及数据采集子系统。该软件具有先进的图像处理算法，能够轻松地识别和分析表面特征。此外,它还提供各种控制,如自动对比度和亮度设置,以及手动图像迭加功能。此外，它还包括一个全面的板载诊断程序。TENCOR 6220 Surfscan是那些需要对半导体晶片进行可靠和精确的表面分析的人的理想工具。它允许用户在其快速直观的软件的支持下,在粒度级别上观察、测量和表征特征。归根结底，这一资产使用户能够快速准确地研究半导体晶圆的结构，从而使工艺和产品产量得到更大的优化。