二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9158312 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一款最先进的晶圆测试和计量设备，结合了高通量数据采集、图像形成和自动化分析，快速评估半导体晶圆的质量。该系统经过专门设计,可以消除生产线中的猜测,释放资源和资源,以便在设计和产品开发上花费更多的时间。Surfscan 6220具有自动前端加载（FRL）硬件,这是生产线的宝贵资产。这样,设备就可以单枪匹马识别和加载晶片,并可以快速定向晶片进行成像和测试。这样就可以将晶片以高达每秒12的速度送入机器,从而实现大量增加的吞吐量。Surfscan 6220上的图像形成是通过获得专利的微波成像工具完成的。利用这一点，资产可以获取晶圆的地形，并以高达1.5微米的核心分辨率产生实时图像。这使得在生产过程中很容易发现表面可能忽略的微小缺陷。Surfscan 6220还具有专门为使用半导体晶圆而设计的先进计量功能。这些包括平坦度、经度、高度、临界尺寸、蚀刻深度等，所有这些都可以实时精确测量和监控。这使得模型几乎可以立即检测到生产线中的工艺变化或异常,从而可以显着改善生产结果。此外,Surfscan 6220还配备了功能强大的分析软件,使数据的硬分析和解释变得更加简单和快速。此功能可以根据设备输出的数据做出即时决策,从而确保准确而及时的决策。总体而言,KLA 6220 Surfscan是半导体晶片测试和计量的宝贵工具,其强大的自动化和数据采集功能可大大节省时间,提高晶片精度。该系统对于任何一条现代生产线都是无价的，并且一定有助于简化操作和提高晶圆质量。