二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9160480 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一种用于测量半导体工业晶片地形的关键尺寸计量设备。它是一个全自动、多传感器晶圆测试和计量系统，使用多个传感器来创建晶圆表面形态的高分辨率三维（3D）图像。该装置采用了测量临界接触角的高分辨率散射仪，以及两个带有嵌入式激光和彩色传感器的专利扫描头，它们产生晶圆表面的图像，其垂直分辨率高达10 nm，横向分辨率高达5 nm。6M和10M传感器的活动扫描长度可达600 mm,而4M传感器的活动扫描长度可达400 mm。KLA 6220 Surfscan还具有高速、低噪声的电子设备,使其能够在0.9秒内获得高质量的数据。该机器集成了一个直观的用户界面，提供全面的流程控制，允许用户轻松设置和监控复杂的食谱。它还包含高级分析和自动化过程控制功能,能够快速准确地诊断缺陷,以及自动纠正和减少缺陷的操作。该工具能够同时分析晶片的顶部和底部表面,为用户提供详细的表面地形视图。TENCOR 6220 Surfscan是一款经济高效的解决方桉，提供满足半导体行业需求所需的精确度和可靠性。它在生产和研发环境中提供通用、准确和可靠的晶圆表面测试和计量,是任何先进半导体制造和开发业务的宝贵资产。