二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9168251 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一款功能强大的晶圆测试和计量设备，旨在满足半导体和光电器件制造商的需求。它是一个高速晶圆分析系统，提供了一套全面的物理和光学计量能力。该装置的分辨率高达5纳米，非常适合测量纳米级结构和装置特性。它提供了一系列光学表征功能,包括一台专用的焦点变化（FV）测量机,可用于表征表面结构的深度。该工具利用精密级扫描资产精确测量纳米级结构和特征。此模型能够扫描直径最大为8英寸（200毫米）的晶片。高精度的纳米处理设备提供高达1纳米的分辨率，系统可以测量各种与设备性能和可靠性相关的粗糙度参数。KLA 6220 Surfscan还提供了一套高级自动化表面计量功能。该单元使用直观的图形用户界面（GUI）快速轻松地生成高度详细的曲面轮廓结果。该机器提供多种扫描模式和自动特征提取，可用于提取复杂结构和特征的特征。然后可以将这些功能与用户定义的参考标准进行比较,以确定一致性。TENCOR 6220 Surfscan还提供多种关键缺陷检测功能。该工具能够检测各种类型的表面缺陷,如阵列故障、污染、划痕、颠簸、凹痕和裂纹。资产自动检测、测量和分类缺陷,性能优于手动检查。6220 Surfscan还配备了一套令人印象深刻的分析选项。它提供了多种参数化和表征功能,包括曲面轮廓比较和图像分析。该模型还包括用于生成综合数据报告和以图形方式显示曲面结构数据的软件工具。KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一款用途广泛、功能强大的晶圆测试和计量设备,提供多种功能和功能。它提供了非常高的测量精度和广泛的高级功能,使其成为设备制造商的绝佳选择,他们需要对其产品进行可靠和精确的表面计量。