二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9185202 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备,旨在提供全面、自动化的表面分析和产量改进。精确测量表面参数，如反射、散射、应力、地形和污染。它具有300毫米模块和多达7个检测通道,非常适合在各种半导体生产应用中提高产量。该系统由一个XY级的单束单元和一个XY级和一个平面扫描仪的多束机组成,XY级的单束单元可以在X和Y方向上移动样品。单束和多束系统可用于各种应用，从简单的晶圆表面检测到复杂的晶圆后端过程跟踪。多光束工具可以提供关于反射、散射、应力等一系列表面参数的快速、准确的数据，而单光束资产则提供了更详细、分辨率增强的表面显微成像。该模型建立在经过验证的扫描电子和光学,结合先进的信号处理软件.信号处理软件功能强大且可靠，允许收集高度详细的表面特性、精确的图像分析和精密的数据比较。该设备提供了几种光束转向和照明系统，可用于精确分析和测量地形、散射、反射率、粒子污染和应力等参数。所有的横梁转向参数都是完全可调的，可以储存，以备将来参考。KLA 6220 Surfscan是一个可靠可靠的系统，可以帮助提高工艺产量和提高模式保真度。凭借其先进的信号处理软件、高速度和精确度,以及卓越的成像能力,它无疑将成为半导体生产应用过程控制和产量改进中不可或缺的工具。