二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9189779 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一款最先进的晶圆测试和计量设备，设计用于半导体晶圆的检测。它结合了一系列先进的检测、测量、成像和分析技术，为用户提供了前所未有的晶圆检测精度和精确度。该系统由几个核心组件组成，包括高分辨率CCD摄像机组件、自动化样品加载单元、成像激光器、CCD设备和自动化计量头。这些组件中的每一个都经过了精确的设计和设计,以协调一致的方式为用户提供卓越的性能。CCD相机组件利用一对高分辨率相机，以极高的细节和精确度捕捉晶圆表面的图像。它结合了精密光学、先进的软件算法和CCD设备来捕获分辨率高达2微米的图像。然后将图像传送到板载计算机进行进一步处理。自动化的样品装载机可以快速可靠地装卸晶片。该工具包括一个在腔室上方延伸的探针臂，以及一个最多可容纳两个晶片的样品装载板。使用双级执行器使探头臂在腔室中来回移动，并包括一个自动样品架，用于精确的样品定位。该成像激光器用于生成晶圆表面的高分辨率图像池。它由LED源、激光扫描仪和主板级相机组成，提供高达0.1微米的无与伦比的成像分辨率。这些图像用于制作晶圆表面的详细轮廓和表面图，在晶圆测试和计量方面提供了前所未有的精确度。CCD器件用于测量晶片表面在静态点的参数，提供晶片表面条件的瞬时评估。CCD设备使用户能够准确检测可能难以单独通过成像发现的小缺陷,如划痕、凹坑和其他功能。自动计量头为用户提供了一种自动测量晶片表面地形的方法，提供了对表面特征的即时评估。该器件快速准确地测量晶片表面的参数，能够以极高的精度检测任何表面的不规则性。KLA 6220 Surfscan晶片测试和计量资产是检查和维护半导体晶片质量的有力工具。它是成像、计量和分析技术的强大组合,所有这些技术都经过设计和设计,可提供晶圆测试和计量的最高精度和精确度。使用此模型,用户可以确保其晶片符合所需的质量和可靠性标准。