二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9195861 待售
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ID: 9195861
Wafer inspection system
Bare wafer surface defect inspection system
Thickness: SEMI Standard wafer
Material: Scatters less than 5 percent of Incident Light
Defect sensitivity:
PSL Sphere equivalent: 0.09 Micrometer diameter
With greater than 80 percent
Repeatability: Less than 0.5 percent at 1 standard deviation
Accuracy: Better than 99 percent
Throughput: 100 wph at 0.12 mm
Contamination: Less than 0.005 particles / cm2 greater than 0.15 mm diameter
Cassettes handling: (2) Single puck wafer handling
Illumination source:
Argon-ion laser: 30 mW
Wavelength: 488 nm
Operator interface: Mouse / Keypad
Operations manual and documentation.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，结合了光学和电气技术的力量，为晶圆检测提供了全面而精确的方法。该系统旨在监测直径从200毫米到450mm的各种尺寸晶片的工艺。该装置有能力检查范围广泛的晶圆材料，包括半导体、砷化氙和微机电系统（MEMS）。Surfscan旨在提供实时分辨率和自动测量的实验室级精度。它利用420-1000nm范围内的多光谱成像，加上双光头（光学剖面仪和显微镜对）测量晶圆地形。该机还配备了自动化步高测量、CD（临界尺寸）测量、地形表征、线缘测量等专用软件。Surfscan具有用于详细缺陷测试的基于阈值的自动模具分类过程,能够检测颗粒、缺陷和其他不规则性。它还可以检测光不连续之外的电不连续。该工具还具有预定义缺陷类型库,使用户能够快速识别缺陷类型,然后应用自动纠正操作。资产还配备了灵活的缺陷分类，可应用于定制的场景和库设置，以及闭环优化，以提高产量和吞吐量。Surfscan还设计了一套全面的计量工具和功能,其中包括高动态范围（HDR）成像、3D计量和自动线路临界尺寸（CD）映射。利用这些工具，用户能够以高精度和高速度测量晶圆的不同区域。此外,该模型还配备了一套报告工具,使用户能够快速查看和分析测试结果,并确定趋势,以便为流程优化提供信息。该Surfscan是高度可配置的，可以适应各种晶圆和工艺类型。因此，该设备适合一系列晶圆测试需求，从故障分析到研发。Surfscan具有强大的技术规格和全面的计量和缺陷检测功能,非常适合大批量制造和小批量实验室操作。
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