二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9213312 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，设计用于测量晶圆在纳米尺度上的电性能，使半导体制造过程的精确分析成为可能。它配备了先进的光学和电气计量能力，使其能够检测表面缺陷，追踪污染物，测量表面粗糙度和薄膜厚度。6220具有由六个CCD摄像机组成的高度敏感的光学子系统。通过改变LED光源,摄像机能够捕捉样品和样品表面之间的不同对比。这使得系统能够检测到传统光学计量方法无法检测到的亚微米形状和地下缺陷。摄像机还能够从样品表面的完整360⁰视图中收集数据，从而提高了分析的速度和准确性。6220还具有利用自动悬臂梁测量（ACBM）技术的专有电气子系统。这使得它能够测量表面地形的纳米级变化，通过检测电信号的精度亚皮米，因为他们通过晶圆表面。该装置还配备了多分路技术，通过从每个测量点收集更大范围的数据，提高了准确性和吞吐量。此外,6220还包含一个专有软件包,允许用户根据自己的特定需求创建定制的计量程序。此软件包为用户提供了广泛的功能,例如数据分析和数据可视化工具,以及自动报告功能。软件还具有可追踪性功能,使用户能够跟踪样本的数量和特性。结合6220的光学、电气和软件功能,使其能够精确分析和测量纳米尺度上的晶圆基板。机器先进的计量特性使用户能够在短时间内检测到小规模的表面缺陷并获得精确的测量，使其成为半导体制造商的理想选择。