二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9213911 待售

KLA / TENCOR 6220 Surfscan
ID: 9213911
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一款专门为满足半导体制造和研发行业需求而设计的晶圆测试和计量设备,使用户能够快速准确地识别晶圆上潜在的工艺和材料问题。该系统结合了最佳的光学和基于接触的计量技术,提供先进的晶圆表面成像功能,使用户能够测量和识别到纳米级的特征。KLA 6220 Surfscan可用于在广泛的过程中检查晶圆地形,如光刻、抛光处理、反射测量、蚀刻和旋转涂层。它拥有专利的二维扫描技术,利用低功率、固定波长的激光器从照明区域捕获图像数据,然后处理这些信息来识别被测试晶圆的表面特征。TENCOR 6220 Surfscan可以在一次扫描中测量样品的粗糙度和轮廓,提供多种参数类型的数据,如特征大小、形状、纹理和深度。6220 Surfscan具有符合10级洁净室环境的集成视觉单元(IVS),可确保无污染操作环境并提供最大吞吐量。这台机器是通过可选的KLT-1617独立的基于Windows的触摸屏软件操作的,该软件提供实时反馈,并提供对一系列自动测量功能的访问。KLA/TENCOR 6220 Surfscan为用户提供了一系列优势,包括提高可靠性、加快测量速度和提高准确性。其先进的测量技术使其能够检测晶圆上的电磁干扰,使其成为识别缺陷的宝贵工具。KLA 6220 Surfscan也是高度模块化和可升级的,允许用户根据需要添加额外的组件,如反射计、显微镜或荧光系统。综上所述,TENCOR 6220 Surfscan是一款先进的高性能晶片测试和计量工具,为用户提供快速准确识别特征的能力,具有可靠的操作和模块化,以满足半导体制造和研发行业的具体需求。
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