二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9222541 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一种用于半导体器件生产的晶圆测试和计量设备。它用于测量半导体晶片的电性能和物理性质，如表面地形、表面平面度、光掩模和晶片对准、覆盖精度、缺陷尺寸、污染等。该系统包括：光学模块；图像处理和分析模块；扫描阶段；以及基于Web的用户界面。Surfscan 6220光学模块利用CCD相机测量晶圆的表面轮廓和系数。该单元提供了一个自动校准例程,以提供准确的结果,并且内置的自动对焦功能使表面保持对焦状态,以获得准确的读数。图像处理模块使用高级图像处理算法来检测、分类和测量晶圆上的表面缺陷。自动缺陷检测算法可以检测小到几纳米的特征，可以检测颗粒、划痕等等。Surfscan 6220扫描阶段提供了高精度的晶圆扫描。它有一个300 mm x 300 mm的平台，带有电动Z轴，允许最佳的表面操控。扫描仪将晶片与CCD摄像机精确对准，确保结果一致准确。基于Web的用户界面为用户提供了一种可访问的直观方式来与工具交互。用户可以创建和存储扫描配置文件,以便在需要时轻松访问,还可以执行校准、运行扫描会话以及访问日志和设置信息等任务。KLA Surfscan 6220晶片测试和计量资产为测量和检查半导体晶片提供了可靠、经济高效的方法。它非常准确、易于使用,并提供了一套丰富的功能来提供最佳性能。