二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9223462 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一款自动化、高精度的晶圆测试和计量设备，提供强大、可重复、准确的结果，达到质量控制和晶圆生产的最高标准。它是为半导体、MEMS和光伏应用在研发和大批量生产环境中设计的。具体来说，Surfscan 6220系统可以测量晶圆的平坦度、晶圆的经度以及晶圆上模具的临界尺寸。它还为过程控制、单元表征、故障分析和设计/过程优化提供关键报告和数据。Surfscan机器由视觉工具、舞台和晶圆处理程序组成。视觉资产包括一个强大的基于CCD激光反射的自动对焦单元和一个健壮的缺陷检测算法，以确保测量高度准确和可重复。该级由先进的反馈地形和高分辨率光学传感器组成，而晶圆处理程序则通过快速加载、卸载和自动将基板从视觉模型移动到舞台来提供快速的测量时间。要使用设备，首先将晶片装入处理程序并放入视觉系统。经过自动对焦和检测过程，晶圆被放置在舞台上，在舞台上用相干光源进行扫描。反射光被收集并清洗，以便进一步分析。在采集数据时，运用算法对平面度、扭曲度等关键参数进行分析。测量结果收集在一份报告中，其中包含晶圆地形、临界尺寸和其他重要晶圆特性。此外，维护和校准程序是自动化的，以提高结果的一致性。总体而言，KLA/Tencore KLA 6220 Surfscan为用户提供了功能强大且可重复的晶圆测试和计量数据，以满足最高的质量控制要求。它可靠、准确、易于使用，是任何晶圆生产线的绝佳补充。