二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9249955 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一种多功能晶圆测试和计量设备，设计用于先进的半导体制造工艺。该系统能够高精度、高可靠性地测量晶圆元件的物理、电气和光学参数。该单元配备了各种工具来分析每个晶片的表面，如光学剖面仪、电压传感器、光学显微镜、光学反射分光光度计和原子力显微镜（AFM）。这样可以确保以更好的分辨率对晶片的组件进行更精确的评估。光学剖面仪能够以极高的精度快速准确地测量表面特征,包括表面台阶、粒子和非均匀性。它还提供了广泛的分析能力，如信号互相关和快速傅立叶变换（FFT）的测量数据。电压传感器允许用户通过向组件施加电压和测量产生的电流来测量晶圆组件的电性能。这提供了有关设备电气组件行为的宝贵数据,使用户能够表征其性能。光学显微镜用于观察晶片组件的微小特征，如缺陷或污染，放大倍数为10倍。该机的光学反射分光光度计用于测量表面特性和缺陷，提供了高精度的结果。一个应用特定集成电路（ASIC）可以用来测试数字电路作为计量过程的一部分。最后，该工具配备了AFM，它依靠强大的力场来测量和表征晶圆表面上的各个特征。这项技术可以提供晶圆表面振荡以及表面粗糙度和结构的详细图像。总而言之，KLA 6220 Surfscan将最新的晶片测试和计量技术结合到一个单元中，让用户能够准确快速地分析其晶片组件的物理、电气和光学特性。其精确度和多功能性使其成为半导体制造领域的宝贵工具。