二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9256450 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一种最先进的晶片测试和计量设备，用于评估和测量半导体晶片在生产过程中的电气、物理和光学特性。该系统旨在对硅片和IC上的关键参数进行敏感、准确和可重复的测量。KLA 6220 Surfscan利用基于激光的非接触式光学干涉测量，使其能够产生可重复分辨率小于0.5nm的精确测量。该单元配备了先进的软件和实时数据分析能力，使数据和结果能够以全面的图形格式呈现。机器还可以用来进行多参数测量，允许用户评估设备或晶圆的整体质量。该工具能够测试各种特征、缺陷类型、表面粗糙度和平坦度、应力、应变、层间距、蚀刻深度、倾斜度和阶梯高度。它还具有高分辨率立体摄像机，以便能够识别和检查表面特征如微尘、图样缺陷和划痕。此外，该资产还配备了非接触式光学探针，可在纳米精度水平下测量电容、泄漏、片状电阻率和电阻率值。TENCOR 6220 Surfscan可以手动或自动模式操作。在自动化模式下，操作员能够设置和编程自定义测试序列，从而使所有测试运行在相同的基线设置上完成。这有助于确保从运行到运行都可重复和一致的晶圆测试。用户还可以设置安全参数，在测试过程中保持安全的功率水平。该模型与最流行的半导体制造软件和数据库程序兼容，可以与现有晶圆处理设备集成。这使得现有的晶圆生产线很容易过渡到6220 Surfscan。它直观、用户友好的界面使用户能够快速熟练掌握设备，而其先进的工程和监控功能则可以实现高效可靠的操作。KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一种功能强大的晶片测试和计量系统，能够准确可靠地测量硅片和IC的临界特性。它的灵活性和先进的软件使其能够与最流行的半导体制造软件集成，并具有可以快速掌握的直观和用户友好的操作。