二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9358653 待售

KLA / TENCOR 6220 Surfscan
ID: 9358653
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
Wafer inspection system, 8" 1995 vintage.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一种先进的晶圆测试和计量设备,设计用于半导体制造设施。该系统经过优化,能够对各种大小和形状的晶片进行快速、高精度的计量。它为设备制造商提供了无与伦比的过程控制,使他们能够快速识别可能导致其晶圆处理问题的模式、缺陷和其他异常。6220由几个关键的组成部分组成,这些组成部分一起测量和分析晶片。该单元的第一个元件是计量工具,其中包括用于测量晶圆地形的激光干涉仪。这种高精度的测量工具能够在纳米尺度上获取读数,从而能够确定极其精细的细节。它允许精确分析晶片的表面和形状。第二个要素是构成Surfscan操作机器的计算机硬件和软件。Surfscan具有强大的服务器、大的存储容量和高级编程功能,可用于各种晶圆分析任务。该工具由自动化软件控制,该软件可用于定义测量模式、设置采样时间以及处理图像存储和检索。第三个元素是资产的图像采集部分,用于在测量过程中捕获晶圆的图像。这些图像存储在模型上,以便于检索数据和分析。设备还配备了强大的分析软件,可用于执行多种计算。最后,系统配备了先进的通信能力,使其能够与半导体设施中的其他支持系统集成,如工厂控制单元。这使Surfscan能够更好地跟踪晶圆测试结果、诊断问题和评估流程步骤。作为一个整体,KLA 6220 Surfscan是设备制造商的强大工具。它提供了一台全面的计量机器,具有先进的测量、图像采集和诊断能力,使其成为各种尺寸和形状的晶片快速准确测试和分析的理想之选。
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