二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9371741 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，设计用于提供高分辨率的2-D计量和缺陷检测。它能够在裸晶片和图桉化晶片上进行全面的测量，以进行精确的对准和污染检测。该系统包括一个集成的晶圆处理子系统、扫描头模块和一个触觉表面成像软件包。晶圆处理子系统的设计是针对SurfScan的光学元件提供晶圆表面的精确运动控制。它还能够自动将晶片送入和移动到工作表面上。扫描头模块由一个CCD相机、激光源和一个配备步进电机的光学单元组成，当晶片在工作表面移动时可以扫描晶片。这使得机器能够获取晶圆的图像进行分析。CCD相机的分辨率为1000 nm,能够获取视野最大为34 mm的图像。激光源波长为1060 nm，功率输出为200 W，步进电机能够在650 x 650 nm的阶段实现亚微米精度，允许高分辨率图像。SurfScan还包括一个触觉表面成像软件包,能够从获取的图像中提取表面和地下信息。这是通过测量表面粗糙度和缺陷地形、晶圆平整度和弓形以及表面污染来完成的。软件包还包括执行缺陷检查、处理和分析的各种工具。此外,该工具还能够在亮场和暗场照明中捕捉图像。这使得资产能够检测到各种缺陷，如芯片、划痕、颗粒、边缘碎裂和凹坑。该型号符合包括SEMI 300-02和MIL-STD-883在内的行业标准。KLA 6220 Surfscan是一种先进的晶片测试和计量设备，能够对晶片进行高效、准确的检查、测试和分析。该系统具有高分辨率、精确对准和缺陷检测能力，能够对各类晶片样品进行快速、准确的分析。