二手 KLA / TENCOR 6300 #9394711 待售

KLA/TENCOR 6300晶圆测试和计量设备用于半导体制造商测量晶圆的各种物理性质。它是一种提供多种晶圆测试和测量功能的高精度工具。KLA 6300系统利用了两个集成子系统。第一种是模模成像能力，使用户可以同时测量晶圆的2D和3D地形，第二种是高分辨率光谱椭圆仪，可以测量包括光吸收、折射率、表面粗糙度在内的多种物理性质。TENCOR 6300单元的成像功能用于捕获纳米空间分辨率水平内的2D图像或视频信息。这允许捕获和分析通常肉眼看不到的高级别细节。机器还具有捕获晶片3D图像的能力，从而能够精确测量厚度、步高和其他临界层特性。6300工具的光谱椭圆偏光计能力包括测量晶片在250至2,500 nm频率范围内的反射率和吸收率等光学特性的能力。这有助于确定晶片的厚度、折射率和薄膜厚度。KLA/TENCOR 6300还提供了一系列的测量技术，包括固定或可变角度测量、偏振操纵和高速测量，提供准确和可重复的结果。除了这些功能外,KLA 6300还具有强大的数据管理功能,使用户能够访问和分析来自不同系统的数据,以用户定义的方式存储信息,并轻松创建自定义报告。这有助于简化晶圆测试过程并提高整体效率。TENCOR 6300是半导体制造质量控制的绝佳工具，适用于研究和串联过程控制应用。6300的可靠性、准确性和数据管理能力使其成为晶圆测试和计量应用的理想仪器。