二手 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #192510 待售

KLA/TENCOR 6400 Surfscan Equipment是一种高精度晶圆测试和计量系统，用于半导体、MEMS、光子学、太阳能电池等多种基于晶圆的应用。该装置能够测试尺寸可达50厘米的0.2 µm的特征,其设计目的是测量各种特征,包括台阶、平面、边缘、地形、蚀刻、沉积、腐蚀等。KLA 6400 Surfscan机利用三个主要组件对试样进行测量和分析：传感器、监视器和舞台。传感器是一种高分辨率干涉仪，允许使用标准显微镜无法进行的各种测量。当干涉仪扫描样品时,显示器会以图形方式显示样品。该平台是一个机动化的可编程平台，能够倾斜、旋转和移动样品表面，以满足特定的测试要求。该工具还包括一个软件包，允许用户为自定义和可重复性设计自动设置。此软件允许用户选择测试参数以及要收集的图像和数据的类型。该程序还具有内置的安全功能,允许用户保护其测试结果免受未经授权的访问。该资产是为实现极高的准确性和可重复性而构建的,并配有一个集成的环境安全模型,该模型将温度、湿度、振动和其他环境因素保持在恒定水平,以便即使在最具挑战性的生产环境中也能保持一致的结果。该设备还具有广泛的校准功能,使用户能够单独手动校准每个参数,从而使他们能够设置与测试的确切要求相匹配的特定参数。总体而言，TENCOR 6400冲浪扫描系统是一种用于精密晶圆测试和计量的有效、可靠的设备。它结合了先进的硬件、软件、安全性和校准功能,使其成为任何环境的理想选择,而在任何环境中,准确和可重复的测试都是必不可少的。