二手 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9155219 待售

KLA/TENCOR 6400 Surfscan是一种测量晶圆表面的高精度工具。它利用专利的干涉非接触式剖面仪（INC）来测量晶片上的表面特征，如地形和尺寸信息。INC是其最先进的快速准确测量纳米缺陷的技术。KLA 6400 Surfscan设计用于大批量生产线。它采用高速、双区域扫描设备，提高吞吐量，减少复试时间。双区系统有一个7µm检测器设计用于检测晶圆上的早期缺陷，还有一个1µm检测器设计用于测量更精确的表面特征。它能够以300 mm/min的速度扫描晶片,并以每毫米200个数据点的速度捕获数据。TENCOR 6400 Surfscan还具有多种计量工具。其中包括高速粒子计量单元、低对比度粒子计量机、地形计量工具、3D表面计量资产和粗糙度计量模型。所有这些系统都可以测量各种类型的晶片，包括石英、铝和塑料晶片。6400 Surfscan还具有多项其他功能。它采用自动校准和对准设备进行设计,可确保上下表面的完美对准。它还有一个ER-2000的高级处理系统，可以对KLA/TENCOR 6400 Surfscan收集的数据进行数据分析和控制。KLA 6400 Surfscan具有使晶圆测试和计量更容易、更快的功能。它是需要精确高效的晶圆测试和计量工具的半导体公司的理想工具。凭借其精确度和特点,TENCOR 6400 Surfscan是一种高度可靠的工具,可用于轻松、精确地测量表面特征。