二手 KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9179617 待售

KLA/TENCOR 6400 Surfscan是一个先进的晶圆测试和计量系统，旨在为制造商和服务提供商提供对晶圆制造的强大而准确的分析。产品专为半导体、微电子、光电工业内的晶圆加工而设计。KLA 6400 Surfscan能够执行高速、高精度的2D和3D计量测量,这对于确保关键制造过程的准确性和效率至关重要。TENCOR 6400 Surfscan提供了广泛的功能,如晶圆平面度、工艺非均匀性、层剪切和特征轮廓计量。它配备了十几个先进的光学和成像子系统，所有这些子系统共同努力，精确测量晶圆上的特征。先进的激光扫描仪能够获得0.015微米大小的特性。Surfscan能够测量各种晶圆尺寸,从150毫米到300毫米。它还能够适应不同的要求，例如用于快速计量处理的并行检测系统。6400连接到高级软件套件和工业PC,可以快速轻松地下载和设置数据。高级检查功能包括临界尺寸（CD）、迭加测量和倾斜和扭曲分析。6400配备了用于控制晶圆温度的高分辨率加热器，确保各种尺寸的重复和准确测量。最近的改进还使6400能够检测到微米级别的缺陷,这比上一代产品有了显着的改进。总的来说，6400 Surfscan是寻求完整、准确晶圆评估系统的现代制造和服务提供商的理想解决方桉。其先进的功能集、高精度和全面的软件套件使其成为任何需要精确测量的制造过程的最佳选择。